웨이퍼 오염의 위험을 줄이기 위해 공업연구원은 일본과 제휴해 차세대 상업 기회를 장악할 계획이다.
경제부 산하 공업기술연구원(Industrial Technology Research Institute, ITRI 이하 공업연구원)은 일본의 반도체 화학재료 제조회사 도쿠야마(德山- Tokuyama) 주식회사와 공동으로 반도체에 사용하는 원재료에 대한 품질 검사 테스트 기술을 연구하여, 원재료에 이물질을 신속 스크리닝할 수 있어 생산수율을 높일 수 있게 되었다고 밝혔다.
그러면서 공업연구원은 이는 앞으로 국내 반도체사업에서 더 높은 품질과 더 높은 규격의 제품을 생산해 낼 수 있어 신세대 지능을 운용한 반도체 상업기회를 확보하는 데 든든한 뒷받침이 되어 줄 것이라고 말했다.
한편, 이번 타이완과 일본의 연구개발 협력에는 도쿠야마 주식회사의 우수한 재료를 빌려 공동으로 더 새롭고 더 정밀한 테스트 설비를 개발해 낼 수 있어서 반도체 웨이퍼 생산 과정에서 초래하는 오염 위협을 줄이는 데 기여할 수 있게 되었고, 미래 웨이퍼 업자의 차세대 제품 제조 과정에 대해서 전진배치를 할 수 있게 된 것으로 평가된다. -jennifer pai